真空泵機組具有工作壓力高、排氣量大的低真空泵抽氣機組，這類低真空抽氣機組主泵常用往復式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣放射泵、水環泵、羅茨泵等。運用的低真空抽氣機組還需根據被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊懇求，配置必要的除塵器、單調罐等部件。
水蒸氣在緊縮過程中會凝結成水滴，并與泵混合構成懸浮液，不只會使真空度降落，也能使泵腔與轉子生銹，破壞密封面，使泵的上限真空度降落。為此，防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。防止的措施有：
1、運用吸水性強的單調劑。
2、運用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸氣，同時還可以阻撓機械泵油向高真空室返流。
3、選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵。
4、裝油分別器、離心式分別器或油水分別器，將混有水的機械泵油中止處置，處置過的油再流入泵中運用。
油擴散泵真空系統污染與防治
油擴散泵真空系統是運用普遍的真空系統，其獲得真空度范圍為1、3×10-3～1、3×10-5Pa。油擴散泵真空系統構成的各類真空裝置，長期運用后，常見的缺點是真空度抽不上去，或真空度抽不到原來的上限真空水平。與真空室內壁的油蒸氣污染、真空工藝過程各種污染物的污染有關，防止的辦法是：
1、定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵中止清洗。
2、定期清洗真空室。
真空泵機組能夠適應抽除大量的可凝性蒸汽，尤其是當氣鎮油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化進而影響性能，或者是真空系統不允許油污染時更為明顯。
